MPCVD反应腔电磁场分布的数值模拟

• 作者: 张德新 邹卫东
• 来源期刊: 武汉理工大学学报(交通科学与工程版)
• 学科: 化学
• 关键词: 微波反应腔 电磁场 数值模拟
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 566-568
• 页数: 3页
• 分类号: O646.9
• 字数: 2280字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.2095-3844.2003.04.038

摘要

采用有限积分理论的算法,模拟了具有轴对称的微波等离子体反应腔中电磁场的分布情况,计算出给定等离子体的空间分布时微波反应腔中电磁场的稳定分布状态.并依据实验中的一些可变参数,寻找影响反应腔中电磁场分布的参数,为设计利用MPCVD技术沉淀金刚石薄膜的反应腔提供参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹卫东	华中科技大学物理系	3	8	2.0	2.0