新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制

• 作者: 丁桂甫 张琛 李以贵 杨春生 蔡炳初 贾书海 赵小林
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微电磁驱动器 微细加工 光开关
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1004-1006
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.12.005

摘要

设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能.新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高.用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置.这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张琛	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	50	693	14.0	24.0
2	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	49	769	15.0	26.0
3	李以贵	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	19	120	7.0	10.0
4	杨春生	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	33	314	10.0	16.0
5	赵小林	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	56	549	13.0	20.0
6	丁桂甫	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	60	503	12.0	19.0
7	贾书海	上海交通大学微纳米科学与技术研究院	6	44	4.0	6.0