二维Ge岛成核早期阶段的动力学蒙特卡罗模拟

• 作者: 李志坚 肖鸿 邓宁 陈培毅
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 动力学蒙特卡罗模拟 自组织生长 应力场
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 2765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.012

摘要

采用动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo)方法模拟了Si/Ge系统自组织生长Ge量子点过程中二维Ge岛成核的早期阶段.引入吸附原子导致的应力场,对原子扩散的势垒进行了修正.研究了温度和应力场分布对二维Ge岛成核位置以及尺寸分布的影响,结果表明应力场对二维岛的成核具有决定作用,采用调制应力的方法可以有效控制量子点的自组织生长过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
2	陈培毅	清华大学微电子学研究所	52	245	10.0	12.0
3	邓宁	清华大学微电子学研究所	34	145	7.0	10.0
4	肖鸿	清华大学微电子学研究所	1	5	1.0	1.0