Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

• 作者: 夏义本 张伟丽 张明龙 方志军 王林军 马哲国
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 应力 离子注入 Al2O3陶瓷
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 1028-1033
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.04.047

摘要

通过对Al2O3陶瓷衬底进行碳离子预注入,大大降低了Al2O3陶瓷衬底上金刚石薄膜的应力,且金刚石薄膜中的压应力随碳离子注入剂量的增加而线性下降.通过对Al2O3陶瓷衬底注入前后的对比分析表明,高能量的碳离子注入Al2O3陶瓷衬底以后,并没有产生过渡层性质的新相,而是大量累积在Al2O3晶格的间隙位,使Al2O3晶格发生畸变.而且,随着碳离子注入剂量的增加,Al2O3基体内晶格畸变加剧,注入层残余压应力也随之上升.当金刚石薄膜沉积以后,在降温的过程中衬底这部分残余应力得到释放,从而部分弛豫了金刚石薄膜中的压应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明龙	上海大学材料科学与工程学院	24	165	8.0	11.0
2	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	张伟丽	上海大学材料科学与工程学院	18	104	7.0	9.0
5	方志军	上海大学材料科学与工程学院	14	97	6.0	9.0
6	马哲国	上海大学材料科学与工程学院	3	23	3.0	3.0