MEMS-IDT声表面波陀螺

• 作者: 吕志清 胡爱民
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 声表面波 叉指换能器 陀螺 驻波振动
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 27-29,33
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.04.007

摘要

声表面波陀螺的概念出现在70年代初期,发展为MEMS-IDT声表面波陀螺仅是最近几年的事情.MEMS-IDT声表面波陀螺仪是一种MEMS微机械振动陀螺,这种陀螺为单层平面结构,采用标准IC工艺就可完成加工,勿需悬浮的振动元件,有很强的抗冲击振动能力,可靠性高,可不用真空封装而保持较高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡爱民		6	36	3.0	6.0
2	吕志清		14	365	8.0	14.0