GaAs高温退火过程中热应力对晶体缺陷的影响

• 作者: 屠海令 王超群 胡广勇 郑安生 钱嘉裕 黎建明
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaAs 退火 小角晶界 三轴晶模式衍射
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 933-936
• 页数: 4页
• 分类号: O471.4
• 字数: 2147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.09.008

摘要

用X射线衍射技术分析在高温退火过程中GaAs晶片和石墨接触区域的热应力对晶体缺陷的影响.结果表明:在高温退火条件下,GaAs晶体与石墨接触区域散热不均匀造成的热应力,致使该区域范性形变,从而产生高密度的位错.GaAs晶体中的刃型位错受热应力作用向垂直滑移面的平面移动,聚集后可形成小角晶界,从而导致GaAs晶体的晶格参数和取向均发生变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屠海令		42	224	8.0	12.0
2	郑安生		11	36	3.0	5.0
3	胡广勇		16	57	5.0	6.0
4	黎建明		14	61	5.0	7.0
5	王超群		31	130	6.0	9.0
6	钱嘉裕		5	19	3.0	4.0