响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制

• 作者: 孙振翠 孙海波 王强 裴素华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钛 热退火 掺杂 三甲胺
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.12.007

摘要

二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高.文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	山东师范大学半导体研究所	35	177	7.0	11.0
2	孙海波	山东师范大学半导体研究所	19	104	6.0	9.0
3	裴素华	山东师范大学半导体研究所	27	70	6.0	7.0
4	孙振翠	山东师范大学半导体研究所	15	52	4.0	6.0