全旋倾斜(Off－axis)X射线技术-开创半导体制程检测新视野

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篇名	全旋倾斜(Off－axis)X射线技术-开创半导体制程检测新视野
来源期刊	集成电路应用	学科	工学
关键词	无损探伤检测全旋倾斜X射线半导体制程 PCB 检测原理
年，卷（期）	2003,（10）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	64-69
页数	6页	分类号	TN407
字数		语种	中文
DOI