微波MEMS移相器的特性分析与实现

• 作者: 朱自强 李炜 石艳玲 赖宗声
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 移相器 微波集成电路
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报道（MEMS器件与技术）
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TN623|TN454
• 字数: 2559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.11.008

摘要

从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理.在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较传统的移相器有微型化、低损耗、低成本、宽带等突出优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石艳玲	华东师范大学电子科学技术系	47	205	8.0	12.0
2	李炜	华东师范大学电子科学技术系	12	83	6.0	9.0
3	朱自强	华东师范大学电子科学技术系	40	272	11.0	13.0
4	赖宗声	华东师范大学电子科学技术系	136	779	13.0	18.0