MEMS技术的发展与应用

• 作者: 朱健
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械加工 应用
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: EDA技术专栏
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 3749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.01.010

摘要

主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健	东南大学仪器科学与工程系	14	189	8.0	13.0