扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

• 作者: 孙静 王全 胡会能 胡斌
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 电压衬度像 充电现象 开路
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 综合
• 页码范围: 328-329
• 页数: 2页
• 分类号: TN16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2003.z1.104

摘要

阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙静		3	0	0.0	0.0
2	王全		4	1	1.0	1.0
3	胡斌		3	0	0.0	0.0
4	胡会能		5	3	1.0	1.0