仿真技术在半导体和集成电路生产流程优化中的应用

• 作者: 王岩峰 闵春燕
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: EXTEND软件包 仿真:半导体集成电路 制造工艺流程 排队策略 制造周期
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 集成电路制造技术
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TP337|TN3
• 字数: 3553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.10.011

摘要

半导体和集成电路制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程.集成电路制造的特殊性表现在产品工序的繁多,对设备的高利用率要求,和"再进入"(Re-entry)的流程特点.这种特殊的工艺流程特点决定了半导体集成电路工序中的排队优化选择策略比其他制造行业更为复杂,对生产效率和制造周期有更直接的影响.本文通过EXTEND仿真软件对英特尔的一个微型晶圆试验台进行初步研究,来说明计算机仿真手段在半导体集成电路生产流程优化中的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闵春燕	浙江大学应用数学系计算机图形图象研究所	2	26	2.0	2.0