微洁净环境中的颗粒监测

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 地球科学
• 关键词: 过程工程学 机械臂 颗粒计数器 颗粒监测 工艺设备 硅片 洁净环境 微环境 探针台 洁净度
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: X831
• 语种: 中文

摘要

微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度.新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计.安装和调校微洁净环境的过程为精确调试工艺设备提供了的机会,使之能在ISO一级或二级洁净度的环境中开始运行.