硅衬底上Zn1-xMgxO薄膜的结构与光学性质

• 作者: 叶志镇 汪雷 赵炳辉 邹璐 黄靖云
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Zn1-xMgxO合金薄膜 硅衬底 脉冲激光沉积法 c轴取向 光致荧光光谱
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、热学和力学性质
• 页码范围: 935-938
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.04.031

摘要

采用脉冲激光法(PLD)在Si衬底上沉积Zn1-xMgxO薄膜.x射线衍射(XRD)表明薄膜为c轴取向,(002)峰的半高宽仅为0.211°,且没有MgO的相偏析.透射电子显微镜可以清楚看到Zn1-xMgxO薄膜的c轴择优取向.在选区电子衍射图中可以看到Zn1-xMgxO结晶薄膜整齐的衍射斑点.室温下对Zn1-xMgxO薄膜进行了光致荧光光谱分析,发现其带边发射峰相对ZnO晶体有0.4eV的蓝移,带边发射峰与杂质发射峰的强度之比高达159.Zn1-xMgxO结晶薄膜质量良好,显示了应用于光电器件的潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
2	赵炳辉	浙江大学硅材料国家重点实验室	74	719	14.0	24.0
3	汪雷	浙江大学硅材料国家重点实验室	41	646	13.0	25.0
4	黄靖云	浙江大学硅材料国家重点实验室	51	610	12.0	23.0
5	邹璐	浙江大学硅材料国家重点实验室	5	300	5.0	5.0