Co/Sb多层膜非单色反射率的计算

• 作者: 冯仕猛 窦晓鸣 范正修 赵海鹰 邵建达
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反射率 能量分辨率 多层膜
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1264-1267
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2003.12.006

摘要

Co/Sb多层膜在光子能量为528 eV和掠入射为10.3°时有近62%理论反射率.推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法, 分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响.结果表明: Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性, 如果入射光能量分辨率小, 将导致测量反射率远小于理论反射率.只有在入射光能量分辨率达到1600以上, 测量反射率才等于多层膜实际反射率.给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值, 这与实验结果是吻合的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	窦晓鸣	上海交通大学物理系	26	352	10.0	18.0
4	冯仕猛	上海交通大学物理系	39	143	7.0	9.0
5	赵海鹰	上海交通大学物理系	16	185	6.0	13.0