减反射薄膜的制备及其性能

• 作者: 张雪娜 徐雪青 沈辉 郑岳华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiO2薄膜 减反射 溶胶-凝胶 红外光谱分析
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 85-90
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.019

摘要

使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO2减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3%.采用红外光谱分析了SiO2溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si-O-Si键增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐雪青	中国科学院广州能源所	31	291	11.0	15.0
2	沈辉	华南理工大学材料学院	50	891	14.0	29.0
4	郑岳华	华南理工大学材料学院	5	89	4.0	5.0
7	张雪娜	华南理工大学材料学院	2	39	2.0	2.0