1.55μm非晶硅热光F-P腔可调谐滤波器

• 作者: 余金中 姜磊 左玉华 成步文 李传波 毛容伟 王启明 王良臣 白云霞 罗丽萍 蔡晓 马朝华 高俊华 黄昌俊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热光效应 Fabry-Perot 可调谐滤波器 非晶硅
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 911-915
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 1321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.09.004

摘要

介绍了一种Si基热光Fabry-Perot (F-P)腔可调谐滤波器.F-P腔由电子束蒸发的非晶硅构成.利用非晶硅的热光效应,通过对Si腔加热,改变F-P腔的折射率,从而引起透射峰位的红移.该原型器件调谐范围为12nm,透射峰的FWHM(峰值半高宽)为9nm,加热效率约为0.1K/mW.精确控制DBR(分布式Bragg反射镜)生长获得高反射率镜面是减小带宽的有效途径;通过改进加热器所处位置及增强散热能力,有望进一步提高加热效率.