晶片键合在AlGaInP发光二极管中的应用

• 作者: 潘教青 黄柏标
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: AIGaInP 发光二极管 透明衬底 镜面衬底
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 光电子应用与产业化
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 1250字
• 语种: 中文

摘要

(AlaGa1-x)0.5In0.5P高亮度发光二极管是在GaAs衬底上匹配外延的,它的外量子效率受限于吸收光线的GaAs衬底.LED晶片键合技术可以把LED外延片和GaP透明衬底、金属镜面衬底或蓝宝石衬底结合以提高出光效率.本文对上述三种晶片键合的器件制备过程和器件特点进行了描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘教青	山东大学晶体材料国家重点实验室	6	22	3.0	4.0
2	黄柏标	山东大学晶体材料国家重点实验室	47	364	10.0	17.0