叉指式加速度计的一种仿真法分析

• 作者: 寇剑菊 苏伟
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 叉指式加速度计 微电子机械系统 节点分析法 建模仿真
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.06.010

摘要

微电子机械系统的快速发展对其建模仿真也提出了较高要求.首先介绍了一种微电子机械系统原理级描述仿真方法,它基于成熟的微机械元件库,提供微器件的原理级描述,使得仿真更简单、更高效,但目前其适用范围有限.然后介绍了用这种方法分析叉指式微电容加速度计的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	寇剑菊	中国工程物理研究院电子工程研究所	2	20	2.0	2.0