利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演

• 作者: 刘新福 孙以材 王静
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 范德堡函数 非线性反演 规范化多项式拟合
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 817-821
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 2921字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.08.008

摘要

薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法.应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数,而已知的范德堡公式是隐函数,只见报道其显函数的近似表达式,精度低,未见到有精确的多项式拟合公式.为此,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式,其精度可达到±0.19%,并给出该公式在实际薄层电阻测试中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学信息学院微电子所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学信息学院微电子所	39	354	9.0	17.0
3	王静	河北工业大学信息学院微电子所	42	144	8.0	11.0