多孔硅湿度传感器研究进展

• 作者: 何金田 李新建 许媛媛 陈渝仁
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 湿度传感器 湿敏元件
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.08.002

摘要

综述了湿度传感器的研究现状.分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理,介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构,并讨论了它们的优缺点.最后,对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新建	郑州大学物理工程学院	52	218	8.0	13.0
2	何金田	郑州大学物理工程学院	26	382	12.0	19.0
3	陈渝仁	郑州大学物理工程学院	8	131	6.0	8.0
4	许媛媛	郑州大学物理工程学院	3	37	3.0	3.0