16信道0.35μm CMOS/VCSEL光发射模块

• 作者: 冯军 刘欢艳 吴荣汉 唐君 杜云 柯锡明 梁琨 毛陆虹 王志功 申荣铉 陈弘达 黄永箴
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 CMOS 光电子混合集成 光互连
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 245-249
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.03.004

摘要

研究了垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性,将1×16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装(MCM),混合集成为16信道VCSEL光发射功能模块.测试过程中,功能模块的光电特性及其均匀性良好,测量的-3dB频带宽度大于2GHz.