具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作

• 作者: 刘彩霞 孙东明 张歆东 张龙 潘建旋 纪平 董玮 贾翠萍 阮圣平 陈维友
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 光开关 扭臂 倾斜下电极
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1196-1199
• 页数: 4页
• 分类号: TN256|TN929.11
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.11.015

摘要

分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.