一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器初探

• 作者: 刘君华 卢文科 朱长纯 袁寿财 韩建强
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 带通滤波器 微桥 微桥阵列 轴向应变
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 136-138,195
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.02
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2003.02.007

摘要

设计制作了一种中心频率可调节的高Q值微机械带通滤波器,其核心部分是一个电热激励/压敏电桥拾振的硅/二氧化硅微桥谐振器或微桥谐振器阵列.通过调节施加在压敏电桥上的电压大小来改变桥的平均温度和轴向应变,可调节滤波器的中心频率.理论研究表明:中心频率与电桥电压的平方成线性关系;中心频率的可调节范围可通过减小梁的宽度和压敏电桥的电阻来扩展.所制作的滤波器其频率可调节范围达5.45%,品质因数达8 000以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电子与信息工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯	西安交通大学电子与信息工程学院	215	2372	22.0	41.0
3	卢文科	西安交通大学电子与信息工程学院	17	148	7.0	11.0
4	韩建强	西安交通大学电子与信息工程学院	13	121	6.0	11.0
5	袁寿财	西安交通大学电子与信息工程学院	15	174	7.0	13.0