硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展

• 作者: 吴文刚 姜岩峰 杨振川 郝一龙 黄庆安
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性腐蚀 模 型 硅 微机械加工
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 81-85
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 4144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.01.020

摘要

分析了硅各向异性腐蚀模型及其模拟的研究现状.介绍了两类主要的腐蚀模型-几何模型和原子模型各自的特点、利弊及发展变化的趋势,最后又列举了几种成熟的、应用不同模型的模拟软件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴文刚	北京大学微电子所	10	81	3.0	9.0
2	郝一龙	北京大学微电子所	46	716	15.0	25.0
3	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
4	杨振川	北京大学微电子所	6	85	4.0	6.0
5	姜岩峰	东南大学微电子中心	5	81	4.0	5.0