原子力显微镜针尖同接触面的纳米压痕粘着力

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Hamaker假设 Lennard-Jones势函数 原子力显微镜(AFM) Hamaker常数 粘着力
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.015

摘要

建立了原子力显微镜(AFM)针尖同接触面的纳米压痕物理模型;根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones 势理论,利用连续方法推导出针尖同接触面的纳米压痕粘着力表达式.针对Hamaker常数实验值受环境影响较大,给Hamaker常数的具体应用产生困难的问题,从Lifshitz理论,得出Hamaker常数的近似表达式,并计算了Au、Cu、Al、Ag、Hg的Hamaker常数.计算结果同有关文献的实验结果符合,从而为微机械中广泛存在的纳米接触、"微碰"现象研究提供理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0