发展中的西安理工大学工厂

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 经济
• 关键词: 迅速发展 理工大学 晶体生长设备 开发研制 超大规模集成电路 西安 微电子技术 化合物半导体材料 信息产业 高压单晶炉
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 页码范围: 23-24
• 页数: 2页
• 分类号: F426.6
• 语种: 中文

摘要

21世纪是高科技迅速发展的时代,信息产业的飞速发展是有目共睹的.而以超大规模集成电路为核心的微电子技术,作为信息产业的核心,更是现代高新技术的象征和基石.作为微电子技术最重要的基础材料,半导体以其制备技术日新月异的进步推动着信息技术和社会的发展.在信息产业的发展水平已经成