等离子体离子能量自动分析器的研制和应用

• 作者: 任兆杏 吴先球 吴开华 熊予莹 蒋珍美 陈俊芳
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子能量分布 器件损伤 自动能量分析器 ECR-PECVD
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 186-188
• 页数: 3页
• 分类号: O461
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.02.007

摘要

为了快速获得等离子体离子能量的分布规律,研制了一套等离子体离子能量自动分析器.离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成.利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为12～42eV,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子,从而ECR等离子体技术适合于在半导体器件加工中应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴先球	华南师范大学物理系	125	760	15.0	24.0
2	陈俊芳	华南师范大学物理系	69	768	12.0	26.0
3	熊予莹	华南师范大学物理系	38	421	11.0	19.0
4	任兆杏	中国科学院等离子体物理研究所	20	209	9.0	14.0
5	吴开华	华南师范大学物理系	11	65	4.0	8.0
6	蒋珍美	华南师范大学物理系	7	105	5.0	7.0