银和铜膜中异常晶粒生长和织构变化的实验研究

• 作者: 张建民 徐可为
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 晶粒生长,织构 实验
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 145-149
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.01.027

摘要

用透射电子显微镜(TEM)和x射线衍射(XRD)方法对经300℃,2h退火的Ag和Cu自由膜和Si基体上的Ag和Cu附着膜的异常晶粒生长和织构变化进行了实验研究.XRD分析表明:Ag和Cu沉积膜均有(111)和(100)择优取向.但经退火处理后,Ag和Cu自由膜的(111)织构稍有加强.相反,Si基体上的Ag和Cu附着膜的(100)和(110)织构明显加强,同时用TEM在Cu附着膜中观察到了两个(110)和四个(211)取向的异常大晶粒.根据表面能和应变能的各向异性对实验结果进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	张建民	陕西师范大学物理学与信息技术学院	49	376	13.0	15.0