软X射线激光用分束镜研制

• 作者: 付绍军 吴永刚 唐伟星 崔明启 徐向东 朱杰 洪义麟 王占山 秦树基 陈玲燕
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线 分束镜 多层膜 干涉
• 年，卷（期）: 2003,（13）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1398-1401
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 3616字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2003.13.007

摘要

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的, 是测量临界面附近等离子体状态的重要方法. 基于软X射线多层膜的性能特点, 指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好, 分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准. 用离子束溅射法制作了类镍银13.9 nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜, 实测表明其面形精度达到纳米量级, 反射率和透过率乘积大于1.6%.