半导体薄膜生长实时监控系统的设计与应用

• 作者: 刘国涛 周智猛 徐茵
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 半导体薄膜 ECR-MOCVD VB6.0 实时监测
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 工业控制
• 页码范围: 585-587
• 页数: 3页
• 分类号: TP302.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4598.2003.08.010

摘要

文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点.在此基础上,为实验室的ECR-MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统, 介绍了系统的硬件结构以及在WIN98环境下用VB6.0实现生长实时监控系统软件的实现方法.经实验证明,系统保证了工艺流程的连续可靠运行,实验数据的可靠性和工艺流程的可重复性也大大提高,使用方便,降低了试验人员的劳动强度,实现了预期的设计目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐茵	大连理工大学电气工程与应用电子技术系	26	207	8.0	13.0
2	周智猛	大连理工大学电气工程与应用电子技术系	2	4	1.0	2.0
3	刘国涛	大连理工大学电气工程与应用电子技术系	2	4	1.0	2.0