脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

• 作者: 侯思普 关丽 张端明 李智华 杨凤霞 郑克玉 钟志成
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 等离子体 有限差分 速度演化 KTN薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 242-246
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.01.045

摘要

利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa0.65Nb0.35O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论,给出了相应演化过程的物理图像,并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因.