扫描探针显微镜在纳米加工中的应用

• 作者: 孙旭平 张柏林 汪尔康
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 扫描探针显微镜 纳米加工 应用 评述
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 评述与进展
• 页码范围: 1127-1130
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 2331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2003.09.027

摘要

扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵.本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及"蘸写笔"两方面的应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪尔康	中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室	39	415	10.0	19.0
2	张柏林	中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室	20	87	6.0	8.0
3	孙旭平	中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室	2	10	2.0	2.0