热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

• 作者: 吴世法 孙伟 徐凯 李银丽 潘石
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子力/光子扫描隧道显微镜 光纤探针 热拉伸 化学腐蚀
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 1190-1195
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.05.029

摘要

提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分--双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针,弯曲角度约为150°,尖端曲率半径优于100nm,锥角范围为60°-90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘石	大连理工大学物理系	45	254	9.0	13.0
2	孙伟	大连理工大学物理系	138	1214	16.0	28.0
3	吴世法	大连理工大学物理系	41	336	10.0	17.0
4	徐凯	大连理工大学物理系	3	28	2.0	3.0
5	李银丽	大连理工大学物理系	2	28	2.0	2.0