气敏传感器的发展

• 作者: 吴霞宛 胡明 陈长庆
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 声表面波 石英微天平 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TP21
• 字数: 4179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2003.01.011

摘要

综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴霞宛	天津大学电信学院	52	469	11.0	19.0
2	胡明	天津大学电信学院	139	1336	19.0	28.0
3	陈长庆	天津大学电信学院	6	124	5.0	6.0