数字伺服聚焦式位移传感器及其测量电路

• 作者: 杨练根 谢峰 谢铁邦
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 数字伺服控制 位移传感器 激光 弹头痕迹
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9

摘要

介绍一种基于聚焦探测法的数字伺服聚焦式位移传感器及其测量电路，该传感器可实现表面形貌的快速非接触测量，其测量范围为±1mm，分辨率可达30nm。