薄膜沉积机理的计算机模拟应用和发展

• 作者: 宋鹏 杨滨 瑚琦 赵明娟 陆建生
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 沉积机理 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 新技术
• 页码范围: 154-157
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 5477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2003.z1.048

摘要

薄膜技术作为材料制备的一种新技术,在现代科技领域中有着广泛应用.人们对薄膜的沉积机理通过理论和实验进行了比较深入的研究,其中计算机模拟变得日趋重要.主要阐述目前薄膜沉积机理的计算机模型:LG模型、Eden模型、DLA模型及RLA模型,相应计算机模拟技术的发展以及面临的问题和发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆建生	昆明理工大学材料与冶金工程学院	77	488	12.0	18.0
2	杨滨		9	64	4.0	7.0
3	宋鹏	昆明理工大学材料与冶金工程学院	38	164	7.0	11.0
4	赵明娟	昆明理工大学材料与冶金工程学院	6	31	3.0	5.0
5	瑚琦	昆明理工大学材料与冶金工程学院	4	29	3.0	4.0