碳纳米管原子力显微镜针尖的制作研究

• 作者: 国立秋 张飞虎 董小瑛 董申 赵清亮 赵铁强
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 碳纳米管 原子力显微镜 针尖长度 纳米尺度
• 年，卷（期）: 2003,（15）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1329-1330
• 页数: 2页
• 分类号: TN16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.15.021

摘要

研究在光学显微镜下,运用两个独立的三维工作台分别控制针尖和碳纳米管的位置,将碳纳米管吸附在传统的原子力显微镜针尖上.首先将碳纳米管粘附在导电的胶带上,然后用涂胶的针尖与其接触将碳纳米管粘附到针尖上,最后运用电蚀的方法优化碳纳米管针尖的长度,以达到高分辨率的要求.运用制作的碳纳米管针尖对硅表面的深槽进行成像,获得了传统针尖无法得到的信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎	哈尔滨工业大学机电工程学院	132	2251	25.0	41.0
2	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
3	赵清亮	哈尔滨工业大学精密工程研究所	74	849	16.0	24.0
4	国立秋		10	99	5.0	9.0
5	赵铁强	哈尔滨工业大学精密工程研究所	9	75	5.0	8.0
6	董小瑛	哈尔滨工业大学科学与技术学院	6	52	3.0	6.0