MOEMS光开关响应时间的分析计算

• 作者: 刘彩霞 孙东明 张歆东 徐宝琨 纪平 董玮 郭文滨 陈维友
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 扭臂结构 倾斜下电极 静电驱动 开关时间
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1671-1673
• 页数: 3页
• 分类号: TN957
• 字数: 2209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.11.018

摘要

本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关,给出了响应时间的计算方法,得出开关时间的计算公式.分析了器件几何参数对开关时间的影响,给出了开关时间随参数的变化趋势.通过优化结构给出一组几何参数,保证了驱动电压在10V左右,开关时间可以达到1至2ms.