Fab厂中SPC系统的开发与应用

• 作者: 焦海霞 高有行
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 统计制程控制 生产质量控制 制程 管制图
• 年，卷（期）: 2003,（22）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TP3
• 字数: 3680字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7820.2003.22.034

摘要

SPC(统计制程控制)是一种生产过程质量控制的重要工具.SPC系统对生产过程进行实时分析评价,根据反馈信息及时发现系统性因素出现的征兆,并采取措施消除其影响,使过程维持在仅受随机性因素影响的受控状态,以达到控制质量的目的.文中分析了半导体Fab厂中SPC系统的开发与应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高有行	西安电子科技大学计算机外部设备研究所	53	606	13.0	23.0
2	焦海霞	西安电子科技大学计算机外部设备研究所	1	3	1.0	1.0