近红外光学膜厚监控系统的研制

• 作者: 佘卫龙 朱析 李宝军 江绍基 王自鑫 蔡志岗 马云飞
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 近红外 光学薄膜 膜厚监控 锁相放大
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 469-473
• 页数: 5页
• 分类号: TH744
• 字数: 4232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.06.017

摘要

在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控.运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	佘卫龙	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	74	641	13.0	20.0
2	马云飞	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	2	15	2.0	2.0
3	王自鑫	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	26	96	6.0	8.0
4	江绍基	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	35	365	10.0	18.0
5	朱析	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	3	23	2.0	3.0
6	蔡志岗	中山大学光电材料与技术国家重点实验室	81	547	13.0	18.0