位置敏感探测器(PSD)的研究进展

• 作者: 林斌 陈冬严 陈钰清
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器(PSD) 氢化非晶硅 阵列 综述
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 3794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2004.04.015

摘要

回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD.并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林斌	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	69	777	15.0	26.0
2	陈钰清	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	24	257	9.0	15.0
3	陈冬严	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	2	75	2.0	2.0