飞秒激光双光子复杂结构的微细加工

• 作者: 夏安东 徐藻 王翔 蒋中伟 袁大军 褚家如 郭锐 黄文浩
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 27-30,36
• 页数: 5页
• 分类号: TN24
• 字数: 2138字
• 语种: 中文

摘要

阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统-齿轮轴系统的一次成型.