金属等离子体浸没离子注入与沉积技术合成类金刚石薄膜研究

• 作者: 于永澔 刘洪喜 孙韬 汤宝寅 王小峰 王浪平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属等离子体浸没离子注入与沉积 类金刚石薄膜 摩擦磨损性能 轴承钢
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 372-376
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.05.013

摘要

采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜.研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学腐蚀等测试手段分别表征了合成薄膜后试样表面的化学组成和微观结构、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能.结果表明:合成薄膜后,试样的显微硬度增大了88.7%,摩擦磨损和抗腐蚀性能也明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王浪平	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	42	276	9.0	14.0
2	王小峰	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	35	258	9.0	14.0
3	刘洪喜	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	10	121	7.0	10.0
4	汤宝寅	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	29	231	9.0	13.0
5	于永澔	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	11	47	4.0	6.0
6	孙韬	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	5	17	3.0	4.0