电涡流式位移传感器低温标定系统及其误差分析

• 作者: 丁天怀 傅志斌 徐玉铮 陆毅
• 来源期刊: 低温工程
• 学科: 工学
• 关键词: 低温 标定 电涡流位移传感器 误差
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6516.2004.02.008

摘要

介绍了一种能在20 K～300K温度范围内对电涡流式位移传感器进行静态标定的系统,着重分析了该系统的温度及位移误差,并对传感器进行了20 K,90 K的标定实验.该标定系统具有多通道数据采集与处理、自动温控、观察窗可视操作等特点,工作区温控精度优于±1 K,位移给定精度0.001 mm.经适当改进后还可对其它原理位移传感器进行低温标定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁天怀	清华大学精密仪器与机械学系	72	1131	20.0	30.0
2	陆毅	清华大学精密仪器与机械学系	10	16	2.0	4.0
3	傅志斌	清华大学精密仪器与机械学系	9	70	5.0	8.0
4	徐玉铮	清华大学精密仪器与机械学系	4	29	3.0	4.0