基于MEMS的光力学红外成像

• 作者: 伍小平 张青川 段志辉 潘亮 王玮冰 郭哲颖 陈大鹏
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: 红外探测器 光学读出 红外成像 双材料微悬臂梁 焦平面阵列
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 403-407
• 页数: 5页
• 分类号: TB535.1
• 字数: 3273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2004.04.002

摘要

非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注.近期,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备.本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪.此红外探测仪的核心器件焦平面阵列(FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成.每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形.它不需要读出电路、真空腔和制冷装置,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统,而制作成本和难度将大幅降低.制作的无硅基底单层膜结构的FPA,其单元尺寸为200μm×100μm,阵列大小为150×100像素数.实验制作的系统探测到温度为500K左右的热物体像,热像采样频率为12幅/秒.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张青川	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	68	411	12.0	15.0
2	伍小平	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	62	947	16.0	28.0
3	陈大鹏	中科院微电子研究所	13	126	6.0	11.0
4	王玮冰	中科院微电子研究所	3	43	3.0	3.0
5	潘亮	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	21	91	5.0	9.0
6	段志辉	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	6	49	3.0	6.0