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摘要:
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悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真
MEMS
微加速度传感器
设计仿真
∑-△微加速度计系统模型研究
微机电
加速度计
∑-△
调制器
介观压阻型硅锗加速度计研究
介观压阻效应
加速度计
灵敏度
双悬臂梁
八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析
MEMS
硅微加速度计
加速度
仿真
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微传感器加速度计被模拟成为具有端头质量块悬臂梁的线性动力学
来源期刊 导航与控制:译文集 学科 数学
关键词 微传感器 加速度计 线性动力学 连续模型 运动方程 边界条件
年,卷(期) 2004,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 18-22,29
页数 6页 分类号 O175.24
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
微传感器
加速度计
线性动力学
连续模型
运动方程
边界条件
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
导航与控制:译文集
季刊
北京市142信箱403分箱8号
出版文献量(篇)
105
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