水浴条件下YAG倍频激光切割Si片的实验研究

• 作者: 凌磊 叶震寰 李抒智 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: YAG固体倍频激光 切割 Si片 水浴
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 131-132,143
• 页数: 3页
• 分类号: TG485|TN248.1
• 字数: 1662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2004.02.027

摘要

用Nd∶ YAG固体倍频激光器在水中对Si片进行微刻蚀比在空气中产生的飞溅物少.对两种条件下的刻蚀速率、刻槽表面形貌进行了比较.实验结果得到最窄的刻缝宽度小于50μm,表面不平整度小于5μm,为工业用激光切割Si片提供了更好的工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶震寰	中国科学院上海光学精密机械研究所	24	241	10.0	15.0
2	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
3	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
4	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
5	凌磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	166	7.0	12.0
6	李抒智	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	113	6.0	10.0