衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究

• 作者: 于伟东 李效民 边继明 高相东
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 超声雾化热分解
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 641-646
• 页数: 6页
• 分类号: O482
• 字数: 2416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2004.03.032

摘要

以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500°C下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸约为40～50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高相东	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	14	108	7.0	10.0
2	李效民	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	24	197	10.0	13.0
3	边继明	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	2	34	2.0	2.0
4	于伟东	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	18	118	7.0	10.0