MEMS微致动器的研究

• 作者: 张万里 彭斌 蒋洪川 谌贵辉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微致动器 微泵
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 3009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.09.005

摘要

MEMS技术在未来的发展中有着重要的意义.本文介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微泵为例,详细比较了致动器的执行机制和原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学微电子与固体电子学院	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	87	638	12.0	21.0